バッキングチューブ

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バッキングチューブとは

バッキングチューブとは

昨今、液晶パネル、薄膜太陽電池、OLED、タッチパネル、高機能フィルム等の生産工程において、ターゲットの使用効率に優れたロータリー方式のスパッタリング装置が採用されております。バッキングチューブは、同方式の薄膜材料である円筒型ターゲットを支持、冷却する部品となります。

【 納入実績 】
TFTアレイ・カラーフィルター・OLED・薄膜太陽電池・高機能フィルム等

バッキングチューブの製造

バッキングチューブには、ストレートType、フランジType等とスパッタリング装置メーカー、またはカソードメーカーによって様々な形状がございます。
その形状は、薄肉で長さ3mを超えるものもあり、非常に難易度の高い加工製品です。
当社では、ターゲットの材質に合わせてチタン、ステンレス等のバッキングチューブをご用意しております。

【 溶接Method 】
真空ロウ付け・電子ビーム溶接等

【 最大加工寸法 】
5,000mmL

リーク検査

バッキングチューブは、真空チャンバー内で使用されるターゲット冷却機構であるため、微細なガスリークも許されない精密部品でございます。                                            当社は、リークディテクタという設備でヘリウムリーク検査を実施し、厳しい検査を合格した製品をお客様に納入しております。