バッキングプレート

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バッキングプレートとは

バッキングプレートとは

バッキングプレートは、液晶パネル、半導体、HDD、記録メディア等の製造工程で使用されるスパッタリング装置において、ターゲット材の支持と冷却を担う精密部品です。そのため、 バッキングプレートの製作には、高い寸法精度と品質管理が要求されます。

当社では、銅、アルミ、ステンレスの他、加工が非常に難しいとされるチタン材も卓越した技と最新のCAD・CAMを駆使し、高精度の加工を可能にしました。 長年培った経験と技術をもとに、お客様の仕様に合わせた最適な加工方法をご提案致します。

私たちの「技能」を是非、一度ご覧ください。

【 主な納入実績 】
一体型Type・拡散接合Type・ジャケット水冷Type

ジャケット水冷Typeの製造

 

冷却性能の高いジャケット水冷Typeのバッキングプレートを製作には、ベースプレートに冷却水路を形成し、
蓋を接合した後に表面を仕上げ加工致します。

【 接合 Method 】
真空ロウ付け・電子ビーム溶接、FSW(摩擦攪拌接合)等

【 最大加工サイズ 】
Φ900mm、1,000×2,000mm

ジャケットタイプバッキングプレートの製造
ジャケットタイプバッキングプレートの製造
ジャケットタイプバッキングプレートの製造
ジャケットタイプバッキングプレートの製造
ジャケットタイプバッキングプレートの製造