2017-07-26
スパッタリングシステムに使用される、平板ターゲット用ジャケットType バッキングプレート、 円筒ターゲットに使用されるバッキングチューブ等のヘリウムリークテストを実施する為に、 ULVAC社製リークディテクタ『 HELiOT 900 』を導入致しました。
TEL 048-287-3557 FAX 048-287-3558
2017-07-26
スパッタリングシステムに使用される、平板ターゲット用ジャケットType バッキングプレート、 円筒ターゲットに使用されるバッキングチューブ等のヘリウムリークテストを実施する為に、 ULVAC社製リークディテクタ『 HELiOT 900 』を導入致しました。