リークディテクタを設備しました。

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スパッタリングシステムに使用される、平板ターゲット用ジャケットType バッキングプレート、            円筒ターゲットに使用されるバッキングチューブ等のヘリウムリークテストを実施する為に、                 ULVAC社製リークディテクタ『 HELiOT 900 』を導入致しました。