リークディテクタを設備しました。

スパッタリングシステムに使用される、平板ターゲット用ジャケットType バッキングプレート、　　　　　　　　　　　　円筒ターゲットに使用されるバッキングチューブ等のヘリウムリークテストを実施する為に、　　　　　　　　　　　　　　　　　ULVAC社製リークディテクタ『 HELiOT 900 』を導入致しました。